Greene Tweed lanza Chemraz® 663, un FFKM con plasma mejorado

Greene Tweed ha anunciado el lanzamiento de Chemraz® 663, un nuevo perfluoro elastómero de moldeado por compresión (FFKM) diseñado para soportar aplicaciones de grabado y sedimentación a baja temperatura, donde la resistencia del plasma y el mantenimiento de la fuerza de sellado en el vacío son fundamentales, como sucede con los conjuntos de pinzas electrostáticas (electrostatic chuck, ESC).

Gracias a su capacidad de funcionamiento a baja temperatura (con un mínimo de -40 °C) y su alta pureza (contenido de trazas metálicas menor de 20 000 ppb), Chemraz® 663 es una opción ideal para aplicaciones de ESC y ambientes al vacío a baja temperatura.

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